真空电镀机的核心结构与工作流程

真空电镀机的稳定运行依赖于各核心部件的协同配合，其主要结构包含真空腔室、真空系统、蒸发源 / 溅射靶、工件转架、电气控制系统等。

真空腔室是镀膜的核心场所，一般采用不锈钢材质，具备良好的密封性和耐压性；真空系统由机械泵、罗茨泵、扩散泵等组成，负责将腔室内的气压降至工艺所需的真空度；蒸发源或溅射靶是提供金属镀层粒子的核心装置，根据机型不同选择相应配置；工件转架可带动工件旋转，保证镀层均匀覆盖；电气控制系统则精准调控真空度、温度、镀膜时间等关键参数。

其标准工作流程如下：先将清洗干净的工件装入腔室并密封，启动真空系统抽至设定真空度；再启动蒸发或溅射装置，使金属粒子释放并沉积在工件表面；待镀层厚度达标后，关闭镀膜装置，让腔室自然冷却；最后放气泄压，取出镀好的工件。