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镀膜设备之油扩散泵的维护

 

    油扩散泵是镀膜设备中的重要组成部分,油扩散泵应用非常广泛,是真空镀膜中非常常见的一种抽真空的机器。正确使用油扩散泵有助于提高镀膜质量和延长泵的使用寿命。下面,简单介绍一下油扩散泵的维护。

CCZK-EL电阻蒸发真空镀膜机

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    1、装配油扩散泵前,需要用航空汽油洗净其所有零件,然后烘干;
    2、安装方向要垂直安装;
    3、若油扩散泵出现故障,导致泵油氧化,泵芯形成许多黄色污斑,严重的产生黑色污斑,需要将其重新拆开,彻底清洗;
    4、拆装油扩散泵时要小心,不要磕碰到零部件。
    为了更好的维护油扩散泵,需要了解一下其常见的故障。

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    1、扩散泵不起作用
    原因:①抽真空系统漏气;②加热炉出现问题;③加热炉温度和油温低;④泵出口压强过高;⑤泵本身漏气。
    解决:①对抽真空系统进行检漏,查出漏点,然后解决;②检查加热炉的电源的接触是否良好,炉丝是否烧断;③检查加热炉的电压和电流是否符合规定;④检查前级管道是否漏气或前级泵是否正常工作;⑤检查前级管道与泵体的焊接处,泵底与泵体的焊接处有无漏气。
    2、抽速过低
    原因:①泵油温度低;②泵芯安装错误。
    解决:①检查加热炉的电压电流是否符合要校正;②检查各级喷口的位置和间隙。
   

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