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蒸发真空电镀机蒸发过程中的真空条件

   真空电镀机的真空室内的蒸汽分子的平均自由程大于蒸发源与基片的距离时,就可以获得充分的真空条件。因此,需要将残余气体的平均自由程增加,然后减少蒸汽分子与残余气体分子的碰撞几率,把真空室抽成高真空是非常必要的。
    在用真空电镀机真空镀膜过程中,对于真空度的要求不是越高越好,因为当真空室内的真空度超过10-6Pa时,就需要对真空系统进行烘烤去气才能达到。而烘烤会污染基片,所以会低于这个真空度下制膜,成膜的质量也不会比超高真空制备的膜层差。这在抽真空的时候是需要考虑的问题,千万不要忽视。

如何对真空电镀机的工作室进行清理

CCZK-EL电阻蒸发真空镀膜机

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