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镀膜设备的真空系统的安装

   

      目前,真空镀膜技术的应用非常广泛,而真空镀膜技术是借助真空镀膜设备完成的。为了满足工艺的要求,就需要获得一定的真空度,而真空度需要真空系统实现。真空系统主要由真空泵、过滤器、冷凝器等组成。为了得到满意的真空度,真空系统在安装时需要注意以下问题:

CCZK-SF磁控溅射镀膜设备

CCZK-SF磁控溅射镀膜设备

 

多弧离子真空镀膜机的电弧蒸发
    1、保持真空卫生
    从事真空镀膜的车间环境要保持清洁。为避免将污物带入系统成为放气源,影响真空度,装配组件和材料前,需要对它们进行认真的清洁。
    2、安装时要采用抽气和找漏相结合的方法
    安装时,不能把很多的真空元件一次性全安装完毕,若发生漏气,找漏会很困难。要一个一个安装,每安装一个,都需要进行抽气和找漏。这样安装可以更加节省时间和方便。
    3、安装时,要检查橡皮封口盒金属零件表面,不能有伤痕。

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