驰诚CCZK-HT多弧离子镀(工具镀膜)是在真空蒸发镀和溅射镀膜的基础上发展起来的一种镀膜技术,将各种气体放电方式引入到气相沉积领域,整个气相沉积过程都是在等离子体中进行的。
1、全SUS304不锈钢机身,隐藏式双层冷却水套设计
2、合理配备多套研制的离子弧源,配备弧源过滤系统,有效保障弧源溅射的致密性与均匀性
3、炉体加温和冷却技术,使镀膜温度可达到550摄氏度的同时伴以优秀的炉体冷却能力
4、装载大功率脉冲偏压电源,极大提高电粒子能量,从而获得优秀的膜层结合力和光洁度
5、采用驰诚创新工艺制造,精益求精,通过欧盟CE和ISO质量管理体系认证;
CCZK-SF磁控溅射镀膜设备
腔体结构:立式前开门,后置真空获得系统
材质用料:腔体采用优质SUS304不锈钢材质
离子弧源:依据设备大小不同配备多套弧电源系统
偏压电源:配备大功率单级脉冲偏压电源
多弧靶材:标配多套钛靶或不锈钢靶材
转动系统:变频调速,公自转结合,可采用上传动或下传动方式
真空系统:分子泵+罗茨泵+直联泵(进口)+维持泵+可选深冷泵
气体控制:多路气体质量流量控制系统
加热系统:超硬质工具镀膜550℃温控PID可调可控。
智能控制:PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面,实现逻辑全自动控制
报警及保护:异常情况进行报警,并执行相应保护措施。
报警及保护:异常情况进行报警,并执行相应保护措施。
其他技术参数:
极限真空:5.0×10-4Pa
抽气速率:5.0*10-2≤5min
水压流速≥0.2Mpa 3m3/h;水温≤25℃;气压:0.4-0.8Mpa
备注:
一般规格:
Φ1000mm*H1200mm,Φ900mm*H1000mm
真空室尺寸或设备配置可按客户产品及特殊工艺要求订做
切削刀具,钻头丝锥,精密轴承,锉刀锯片,等其他需要进行超硬质膜层镀膜的产品